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擴(kuò)散部工藝培訓(xùn)

擴(kuò)散部工藝培訓(xùn)

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級(jí)別:| 積分:100 分 | 瀏覽:80107 | 大。540.00KB | 下載:4425 次 | 上傳:2013-11-08

簡(jiǎn)介:

擴(kuò)散部按車間劃分主要由擴(kuò)散區(qū)域及注入?yún)^(qū)域組成,其中擴(kuò)散區(qū)域又分?jǐn)U散老區(qū)和擴(kuò)散新區(qū)。擴(kuò)散區(qū)域按工藝分,主要有熱氧化、擴(kuò)散、LPCVD、合金、清洗、沾污測(cè)試等六大工藝。本文主要介紹熱氧化、擴(kuò)散及合金工藝。

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