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管式PECVD流量對(duì)太陽(yáng)電池氮化硅膜影響的工藝研究

管式PECVD流量對(duì)太陽(yáng)電池氮化硅膜影響的工藝研究

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級(jí)別:| 積分:100 分 | 瀏覽:80442 | 大小:174.50KB | 下載:4450 次 | 上傳:2013-10-14

簡(jiǎn)介:

本文針對(duì)目前國(guó)內(nèi)在太陽(yáng)能電池行業(yè)使用管式PECVD沉積氮化硅減反射膜時(shí)為了實(shí)現(xiàn)均勻性而隨意調(diào)整工藝氣體流量而做出實(shí)驗(yàn)性分析,避免在工藝過(guò)程中發(fā)現(xiàn)電池轉(zhuǎn)換效率下降了而難以找到原因。

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